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标题
Atomic Layer Deposition of Ni Thin Films and Application to Area-Selective Deposition
Ni薄膜的原子层沉积及其在区域选择性沉积中的应用
相关领域
原子层沉积 十八烷基三氯氢硅 材料科学 基质(水族馆) 薄膜 沉积(地质) 图层(电子) 化学工程 纳米技术 单层 冶金 海洋学 生物 古生物学 沉积物 地质学 工程类
网址
DOI
10.1149/1.3504196 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:Woo‐Hee Kim; Han‐Bo‐Ram Lee; Kwang Heo; Young Kuk Lee; Taek‐Mo Chung; et al
出版日期:2011-01-01
求助人
林小雨 在 2024-08-29 16:20:43 发布自福建,悬赏 10 积分
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