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Atomic Layer Deposition of Ni Thin Films and Application to Area-Selective Deposition
Ni薄膜的原子层沉积及其在区域选择性沉积中的应用
相关领域
原子层沉积
十八烷基三氯氢硅
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期刊:Journal of The Electrochemical Society 作者:Woo‐Hee Kim; Han‐Bo‐Ram Lee; Kwang Heo; Young Kuk Lee; Taek‐Mo Chung; et al 出版日期:2011-01-01 |
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