A three-degrees-of-freedom motion error measurement system based on Mach–Zehnder interferometry

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标题	A three-degrees-of-freedom motion error measurement system based on Mach–Zehnder interferometry 基于Mach-Zehnder干涉法的三自由度运动误差测量系统相关领域干涉测量马赫-曾德尔干涉仪物理运动（物理）自由度（物理和化学）光学马赫数声学经典力学机械量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.measurement.2024.115337
DOI	10.1016/j.measurement.2024.115337 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Qing Yu; Tong Zou; Cheng Fang; Hang Su; Tegoeh Tjahjowidodo; et al 出版日期：2024-07-01
求助人	拾壹在 2024-07-24 09:03:44 发布自福建，悬赏 10 积分
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