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 Tantalum carbide films synthesized by hot-filament chemical vapor deposition technique 热丝化学气相沉积技术合成碳化钽薄膜
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期刊：Surface & coatings technology/Surface and coatings technology 作者：Mubarak Ali; Mustafa Ürgen; M. Ashraf Atta 出版日期：2012-02-01 |
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