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 Capacitive Properties and Structure of RuO2-HfO2 Films Prepared by Thermal Decomposition Method 热分解法制备RuO2-HfO2薄膜的电容性能和结构
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期刊：Physics procedia 作者：Xuehua Liu; Junqiu Zhu; Xin Wang; Junmei Sun; Zhenwei Tang; et al 出版日期：2013-01-01 |
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