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 Target heating and plasma dynamics during hot magnetron sputtering of Nb 热磁控溅射Nb过程中的靶加热和等离子体动力学
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期刊：Journal of physics. D, Applied physics 作者：Kseniia Leonova; Nikolay Britun; Stéphanos Konstantinidis 出版日期：2022-06-08 |
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