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![]() n+多晶硅栅极互补金属氧化物半导体技术中金属氧化物半导体结构的快速热退火和异常阈值电压漂移
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Y.K. Fang; J.C. Hsieh; C. W. Chen; C. H. Koung; N. S. Tsai; et al 出版日期:1992-07-27 |
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