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 Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers 后CMOS兼容氮化铝谐振MEMS加速度计
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Roy H. Olsson; Kenneth E. Wojciechowski; Michael Baker; Melanie R. Tuck; J. G. Fleming 出版日期：2009-06-01 |
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