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 A pressure-deformation analytical model for rectangular diaphragm of MEMS pressure sensors 微机电压力传感器矩形膜的压力-变形分析模型
相关领域
偏转（物理）
各向同性
材料科学
振膜（声学）
压力传感器
边值问题
机械
结构工程
叠加原理
声学
光学
物理
工程类
数学
机械工程
数学分析
扬声器
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| 其它 | Wu Zhou, Dong Wang, Huijun Yu, and Bei Peng |
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