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Lithographic Performance of Aryl Epoxy Thermoset Resins as Negative Tone Photoresist for Microlithography
芳基环氧热固性树脂作为微光刻负性光刻胶的光刻性能
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期刊:Polymers 作者:Vitor Vlnieska; Margarita Zakharova; Alexander Mikhaylov; N. Kunka 出版日期:2020-10-14 |
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