Characterization and Understanding of High Valued Polysilicon Resistor Resistance Variation Across a Resistor Bank With Parallel Resistor Fingers

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标题	Characterization and Understanding of High Valued Polysilicon Resistor Resistance Variation Across a Resistor Bank With Parallel Resistor Fingers 具有并联电阻指的电阻器组上高值多晶硅电阻器电阻变化的表征和理解相关领域电阻器材料科学光电子学氧化物等离子体增强化学气相沉积扩散电气工程化学气相沉积复合材料电子工程电压物理工程类冶金热力学
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2014.2311375
DOI	10.1109/tsm.2014.2311375 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Yuk Tsang; Ryoichi Shiono; Gary Pfeffer; Steven Kwan 出版日期：2014-03-12
求助人	可爱芷荷在 2024-10-18 14:41:45 发布自广东，悬赏 10 积分
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