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标题
Investigation on time-dependent behavior of resistivity in high-resistivity silicon wafers
高电阻率硅片电阻率随时间变化特性的研究
相关领域
电阻率和电导率 薄脆饼 材料科学 硅 绝缘体上的硅 光电子学 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106995
DOI
10.1016/j.mssp.2022.106995 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Minghao Li; Songsong Chen; Yun Liu; Tao Wei; Zhan Li; et al
出版日期：2022-11-01
求助人
zhoushuai1a 在 2024-11-13 13:50:33 发布自河北，悬赏 10 积分
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