Anisotropic mechanism of monocrystalline silicon on surface quality in precision diamond wire saw cutting

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标题	Anisotropic mechanism of monocrystalline silicon on surface quality in precision diamond wire saw cutting 单晶硅各向异性对精密金刚石线锯切割表面质量的影响机理相关领域单晶硅材料科学钻石机制（生物学）各向异性硅质量（理念）曲面（拓扑）光电子学复合材料光学几何学哲学物理数学认识论
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108961
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108961 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Yan Wang; Kangwei Xu; Hao Xue; Junan Li; Yiqi Li 出版日期：2024-10-01
求助人	俊逸映梦在 2025-01-04 14:57:39 发布自河南，悬赏 10 积分
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