Blocking of Ge/Si lattice mismatch and fabrication of high-quality SOI-based Ge film by interlayer wafer bonding with polycrystalline Ge bonding layer

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标题	Blocking of Ge/Si lattice mismatch and fabrication of high-quality SOI-based Ge film by interlayer wafer bonding with polycrystalline Ge bonding layer 多晶锗键合层层间晶片键合阻断Ge/Si晶格失配制备高质量SOI基锗薄膜相关领域材料科学薄脆饼晶片键合无定形固体退火（玻璃）微晶绝缘体上的硅位错结晶学锗光电子学复合材料硅冶金化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111269
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111269 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Shaoying Ke; Jiahui Li; Jie Wang; Jinrong Zhou; Zhiwei Huang; et al 出版日期：2022-06-16
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