Design and fabrication of a novel MEMS piezoelectric hydrophone

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标题	Design and fabrication of a novel MEMS piezoelectric hydrophone 一种新型MEMS压电水听器的设计与制作相关领域水听器锆钛酸铅声学压电微电子机械系统材料科学灵敏度（控制系统）水下声纳压电加速度计噪音（视频） PMUT公司电子工程工程类计算机科学光电子学铁电性物理地质学海洋学图像（数学）电介质人工智能
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2020.112203
DOI	10.1016/j.sna.2020.112203 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Shuzheng Shi; Wenping Geng; Kaixi Bi; Jian He; Xiaojuan Hou; et al 出版日期：2020-07-09
求助人	healer 在 2024-11-03 22:17:46 发布自天津，悬赏 10 积分
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