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标题
Thermodynamics-based sealing method for anodized aluminum used in semiconductor processing apparatuses
用于半导体加工设备的阳极氧化铝的基于热力学的密封方法
相关领域
阳极氧化 材料科学 腐蚀 铝 卤化物 沉积（地质） 金属 离子 半导体 冶金 化学气相沉积 化学工程 无机化学 化学 纳米技术 光电子学 工程类 古生物学 有机化学 沉积物 生物
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmst.2024.08.010
DOI
10.1016/j.jmst.2024.08.010 doi
其它 期刊：Journal of Materials Science & Technology
作者：Li Wang; Yang Zhao; Shaogang Wang; Ji Chen; Tao Zhang; et al
出版日期：2024-09-01
求助人
HE 在 2025-01-22 20:31:56 发布自贵州，悬赏 10 积分
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