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标题
NiSi Tb alloy interlayer properties at NiSi/Si junctions for improving thermal stability and contact resistance
提高热稳定性和接触电阻的NiSi/Si结NiSi-Tb合金层间性能
相关领域
材料科学 铽 热稳定性 合金 接触电阻 电阻率和电导率 热的 电阻和电导 复合材料 化学工程 光电子学 图层（电子） 热力学 电气工程 物理 工程类 发光
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2020.111482
DOI
10.1016/j.mee.2020.111482 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Sunil Babu Eadi; Ki-Woo Song; Hyeong-Sub Song; Sang Hyeon Kim; Hyun-Woong Choi; et al
出版日期：2020-11-18
求助人
hanghang 在 2024-11-21 00:12:02 发布自江苏，悬赏 10 积分
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