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标题
Thermal stability of ultrathin ZrO2 films prepared by chemical vapor deposition on Si(100)
Si（100）上化学气相沉积ZrO2超薄薄膜的热稳定性
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1063/1.1339994
DOI
10.1063/1.1339994 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：T.S. Jeon; J.M. White; D. L. Kwong
出版日期：2001-01-15
求助人
tl 在 2025-01-09 15:10:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
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