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Metalorganic chemical vapor deposition of (100) β-Ga2O3 on on-axis Ga2O3 substrates
金属有机化学气相沉积(100)β-Ga2O3在Ga2O3轴上的研究
相关领域
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Lingyu Meng; A F M Anhar Uddin Bhuiyan; Zixuan Feng; Hsien‐Lien Huang; Jinwoo Hwang; et al 出版日期:2022-11-11 |
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