Behavior of oxygen doped SiC thin films: An x-ray photoelectron spectroscopy study

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标题	Behavior of oxygen doped SiC thin films: An x-ray photoelectron spectroscopy study 氧掺杂SiC薄膜行为的x射线光电子能谱研究相关领域 X射线光电子能谱硅材料科学碳化硅分析化学（期刊）碳化物化学气相沉积碳纤维薄膜氧化物氧气化学工程纳米技术化学冶金复合材料复合数有机化学色谱法工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.1332796
DOI	10.1063/1.1332796 doi
求助人	日常磕文献磕书在 2024-11-16 11:54:47 发布自新疆，悬赏 10 积分
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