Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC

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标题	Investigation on femtosecond laser combined with dynamic wet etching machining of SiC/SiC 飞秒激光结合动态湿法刻蚀SiC/SiC的研究相关领域材料科学飞秒机械加工蚀刻（微加工）激光器复合材料碳化硅各向同性腐蚀激光加工光电子学冶金光学激光束物理图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2024.04.066
DOI	10.1016/j.jeurceramsoc.2024.04.066 doi
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