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 Feasibility of molecular dynamics simulation for process parameter guidance of silicon nitride thin films by PECVD 分子动力学模拟用于PECVD氮化硅薄膜工艺参数指导的可行性
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期刊：Applied Surface Science 作者：Xiaoni Yang; Majiaqi Wu; Maoliang Jian; Shuai Zhu; Jin-Wu Jiang; et al 出版日期：2024-01-20 |
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