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标题
BCl3-Based Dry Etching of Exfoliated (100) ß-Ga2O3 Flakes
剥离（100）β-Ga2O3薄片的BCl3基干法刻蚀
相关领域
材料科学 Crystal（编程语言） 蚀刻（微加工） 算法 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 计算机科学 色谱法 程序设计语言 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/2162-8777/abae14
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/2162-8777/abae14 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Man-Kyung Kim; Yukyung Kim; Jihyun Kim; Kwang Hyeon Baik; Soohwan Jang
出版日期：2020-01-09
求助人
迷失的悠悠 在 2024-11-29 23:48:09 发布自天津，悬赏 10 积分
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