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 Low temperature surface preparation of GaN substrates for atomic layer epitaxial growth: Assessment of ex situ preparations 用于原子层外延生长的GaN衬底的低温表面制备：异位制备的评估
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Samantha G. Rosenberg; Daniel J. Pennachio; Christa Wagenbach; Scooter D. Johnson; Neeraj Nepal; et al 出版日期：2019-01-16 |
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