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 Chemical and Mechanical Aspects of a Co-Cu Planarization Scheme Based on an Alkaline Slurry Formulation 基于碱性浆料配方的Co-Cu平坦化方案的化学和机械方面
相关领域
化学机械平面化
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Michael Türk; Xiaoyang Shi; D. A. J. Gonyer; D. Roy 出版日期：2015-12-04 |
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