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[高分] Advanced multiple patterning technologies for high density hexagonal hole arrays
高密度六方孔阵列的先进多重图案化技术
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2584594
DOI
10.1117/12.2584594 doi
其它 期刊：
作者：Na-Young Bae; Sophie Thibaut; Toshiharu Wada; Andrew Metz; Akiteru Ko; et al
出版日期：2021-02-22
求助人
调皮问安 在 2025-04-24 18:26:20 发布自河南，悬赏 50 积分
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