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 A study of process-related electrical defects in SOI lateral bipolar transistors fabricated by ion implantation 离子注入SOI横向双极晶体管中工艺缺陷的研究
相关领域
双极结晶体管
材料科学
光电子学
掺杂剂
共发射极
离子注入
绝缘体上的硅
二极管
晶体管
制作
异质发射极双极晶体管
硅
兴奋剂
掺杂剂活化
电气工程
离子
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医学
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Jeng-Bang Yau; J. Cai; Pouya Hashemi; Karthik Balakrishnan; C. D’Emic; et al 出版日期：2017-11-06 |
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