基于光谱反射技术的梯形刻面MEMS高深宽比沟槽深度测量仿真分析

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标题	基于光谱反射技术的梯形刻面MEMS高深宽比沟槽深度测量仿真分析
网址	基于反射光谱的高深宽比微结构深度测量方法与系统研究
DOI	10.27356/d.cnki.gtjdu.2022.000804 doi
求助人	付樽墨儒在 2025-04-21 13:52:57 发布自贵州，悬赏 10 积分
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