标题 |
Research on Correlation between Metal Oxide Semiconductor Target and Magnetron Sputtered Film based on TFT Application
基于TFT应用的金属氧化物半导体靶与磁控溅射薄膜相关性研究
相关领域
腔磁控管
半导体
薄膜晶体管
材料科学
光电子学
金属
溅射沉积
氧化物
薄膜
冶金
溅射
纳米技术
图层(电子)
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Yuexin Yang; Yilin Li; Honglong Ning; Kuankuan Lu; Dongxiang Luo; et al 出版日期:2024-02-01 |
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