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标题
Study of aging effects on optical properties and residual stress of HfO2 thin film
老化对HfO2薄膜光学性能和残余应力影响的研究
相关领域
材料科学 残余应力 薄膜 折射率 电子束物理气相沉积 压力（语言学） 复合材料 光学 极限抗拉强度 光电子学 纳米技术 语言学 物理 哲学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2019.03.084
DOI
10.1016/j.ijleo.2019.03.084 doi
其它 期刊：Optik
作者：S. Jena; R.B. Tokas; S. Thakur; D. V. Udupa
出版日期：2019-03-18
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zmj 在 2024-12-16 14:51:43 发布自江苏，悬赏 10 积分
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