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Study of aging effects on optical properties and residual stress of HfO2 thin film
老化对HfO2薄膜光学性能和残余应力影响的研究
相关领域
材料科学
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期刊:Optik 作者:S. Jena; R.B. Tokas; S. Thakur; D. V. Udupa 出版日期:2019-03-18 |
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