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Micropipe-Like Defects in the Expanded Diameter Region of 8 in. SiC Grown by Physical Vapor Transport
8英寸膨胀直径区域中的微管状缺陷。物理气相输运法生长SiC
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期刊:Crystal Growth & Design 作者:Ying Song; Naiji Yang; Hui Li; Wenjun Wang; Xiaolong Chen 出版日期:2023-09-18 |
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