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标题
A gas chromatographic air analyzer fabricated on a silicon wafer
一种在硅片上制作的气相色谱空气分析仪
相关领域
薄脆饼 气相色谱法 蚀刻（微加工） 硅 基质（水族馆） 材料科学 光刻 色谱法 分析化学（期刊） 热导检测器 光电子学 化学 纳米技术 海洋学 地质学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1109/t-ed.1979.19791
DOI
10.1109/t-ed.1979.19791 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：S.C. Terry; J.H. Jerman; James B. Angell
出版日期：1979-12-01
求助人
勤恳斑马 在 2024-11-25 13:11:06 发布自湖北，悬赏 10 积分
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