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标题
[高分] Fabrication and repair of GaN nanorods by plasma etching with self-assembled nickel nanomasks
自组装镍纳米掩模等离子体刻蚀制备和修复GaN纳米棒
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纳米棒 材料科学 退火(玻璃) 拉曼光谱 感应耦合等离子体 光致发光 等离子体刻蚀 等离子体 反应离子刻蚀 光电子学 蚀刻(微加工) 外延 分析化学(期刊) 纳米技术 图层(电子) 复合材料 光学 化学 物理 量子力学 色谱法
网址
DOI
10.1051/epjap/2021210002 doi
其它 期刊:The European Physical Journal Applied Physics
作者:Shiying Zhang; Lei Zhang; Yueyao Zhong; Guodong Wang; Qingjun Xu
出版日期:2021-02-15
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