Analytical model for ion angular distribution functions at rf biased surfaces with collisionless plasma sheaths

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标题	Analytical model for ion angular distribution functions at rf biased surfaces with collisionless plasma sheaths 无碰撞等离子体鞘层射频偏压表面离子角分布函数的解析模型相关领域等离子体物理离子各向异性偏压计算物理学原子物理学光学电压核物理学量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/1.1524020
DOI	10.1063/1.1524020 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Laxminarayan L. Raja; Mark Linne 出版日期：2002-12-02
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