Inductively coupled plasma (ICP) dry etching of type II InAs/GaSb superlattice for focal plane arrays

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标题	Inductively coupled plasma (ICP) dry etching of type II InAs/GaSb superlattice for focal plane arrays 焦平面阵列用II型InAs/GaSb超晶格的电感耦合等离子体干法刻蚀相关领域超晶格蚀刻（微加工）感应耦合等离子体材料科学反应离子刻蚀干法蚀刻光电子学分析化学（期刊）等离子体刻蚀暗电流等离子体图层（电子）纳米技术化学光电探测器物理量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1117/12.2575638
DOI	10.1117/12.2575638 doi
其它	期刊：作者：Fei Tao; Xubo Zhu; JinChun Wang; Yingjie He; Jiaxin Ding; et al 出版日期：2020-11-05
求助人	风中鹤在 2024-12-31 10:14:22 发布自北京，悬赏 20 积分
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