Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper

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标题	Time-Resolved Micro-Raman Stress Spectroscopy for Single-Crystal Silicon Resonators Using a MEMS Optical Chopper 使用MEMS光斩波器的单晶硅谐振器的时间分辨微拉曼应力光谱相关领域材料科学斩波器拉曼光谱微电子机械系统硅光电子学光学薄脆饼谐振器绝缘体上的硅单晶硅基质（水族馆）电压电气工程海洋学物理地质学工程类
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2015.2503723
DOI	10.1109/jmems.2015.2503723 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Toshiyuki Tsuchiya; Yusuke Kogita; Akira Taniyama; Yoshikazu Hirai; Koji Sugano; et al 出版日期：2015-12-17
求助人	Jun 在 2024-10-09 21:45:20 发布自上海，悬赏 10 积分
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