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 The effect of process parameters on chemical mechanical polishing of quartz glass 工艺参数对石英玻璃化学机械抛光的影响
相关领域
抛光
石英
泥浆
材料科学
化学机械平面化
转速
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机械工程
工程类
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期刊：International Journal of Modern Physics B 作者：Yakun Yang; Zhankui Wang; Mingjun Pang; Yongfeng Li; Kumar Debajoyti Jena 出版日期：2022-03-09 |
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