Hydrogen Stability and Bonding in SiNx and Al2O3 Dielectric Stacks on Poly-Si/SiOx Passivating Contacts

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标题	Hydrogen Stability and Bonding in SiNx and Al2O3 Dielectric Stacks on Poly-Si/SiOx Passivating Contacts 多晶Si/SiOx钝化触点上SiNx和Al2O3介质叠层的氢稳定性和键合相关领域钝化材料科学堆栈（抽象数据类型）电介质光电子学多晶硅图层（电子）分析化学（期刊）纳米技术化学薄膜晶体管色谱法计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1021/acsaem.3c00937
DOI	10.1021/acsaem.3c00937 doi
其它	期刊：ACS applied energy materials 作者：Matthew B. Hartenstein; William Nemeth; David L. Young; Paul Stradins; Sumit Agarwal 出版日期：2023-06-27
求助人	研友_Zzg5K8 在 2024-04-25 08:53:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
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