Selective Etching of Phosphosilicate Glass with Low Pressure Vapor HF

已完结

文献求助详情

标题	Selective Etching of Phosphosilicate Glass with Low Pressure Vapor HF 低压蒸汽HF选择性刻蚀磷硅酸盐玻璃相关领域氧化物蚀刻（微加工）蒸汽压图层（电子）缓冲氧化物腐蚀材料科学化学水蒸气分压硅水蒸汽压分析化学（期刊）无机化学化学工程反应离子刻蚀复合材料光电子学冶金氧气有机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1149/1.2043880
DOI	10.1149/1.2043880 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Heiji Watanabe; Shuhei Ohnishi; Itaru Honma; Hiroshi Kitajima; Hiroakira Ono; et al 出版日期：1995-01-01
求助人	nico 在 2024-04-19 15:35:39 发布自湖南，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: SDNUDRUG完成签到，获得积分10

1秒前; 福尔摩曦完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

32秒前; yuehan完成签到，获得积分10

1分钟前; 心随以动完成签到，获得积分10

1分钟前; 贝贝完成签到，获得积分0

1分钟前; 修辛完成签到，获得积分10

1分钟前; 丹妮完成签到，获得积分10

1分钟前; 章铭-111完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研狗完成签到，获得积分10

2分钟前; 白面王公子完成签到，获得积分10

2分钟前; 黄花菜完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; Skywings完成签到，获得积分10

2分钟前; 白白嫩嫩完成签到，获得积分10

2分钟前; Lexi完成签到，获得积分10

3分钟前; 震动的听枫完成签到，获得积分10

3分钟前; 林利芳完成签到，获得积分10

3分钟前; Hello的应助被月亮采纳，获得10

3分钟前; 明朗完成签到，获得积分10

3分钟前; 大熊完成签到，获得积分20

3分钟前; 堇笙vv完成签到，获得积分0

3分钟前; Hello上传了应助文件

3分钟前; 月亮发布了新的文献求助10

3分钟前; 打打的应助被希勤采纳，获得10

3分钟前; 打打上传了应助文件

3分钟前; 希勤发布了新的文献求助10

3分钟前; wodetaiyangLLL完成签到，获得积分10

4分钟前; 月亮完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI2.0上传了应助文件

4分钟前; Jenny完成签到，获得积分10

4分钟前; 天天快乐的应助被月亮采纳，获得10

4分钟前; Jenny发布了新的文献求助200

4分钟前; CC完成签到，获得积分0

4分钟前; ghan完成签到，获得积分10

4分钟前; yujie完成签到，获得积分10

5分钟前; cai白白完成签到，获得积分0

5分钟前; 天天快乐上传了应助文件

5分钟前; 月亮发布了新的文献求助10

5分钟前; 打打上传了应助文件

5分钟前