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 Optimization of H2 thermal annealing process for the fabrication of ultra-low loss sub-micron silicon-on-insulator rib waveguides 超低损耗亚微米绝缘体上硅脊形光导体的H2热处理工艺优化
相关领域
材料科学
波导管
绝缘体上的硅
硅
制作
光学
退火（玻璃）
波长
硅光子学
光电子学
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期刊：Silicon Photonics XIII 作者：Cyril Bellegarde; Erwine Pargon; Corrado Sciancalepore; Camille Petit-Etienne; Jean-Michel Hartmann; et al 出版日期：2018-02-23 |
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