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 Self-aligned silicides for Ohmic contacts in complementary metal–oxide–semiconductor technology: TiSi2, CoSi2,and NiSi 互补金属氧化物半导体技术中用于欧姆接触的自对准硅化物：TiSi2、CoSi2和NiSi
相关领域
材料科学
硅化物
微电子
工程物理
CMOS芯片
纳米技术
MOSFET
光电子学
欧姆接触
纳米电子学
氧化物
晶体管
半导体
电气工程
硅
冶金
工程类
电压
图层（电子）
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