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Selective passivation of 2D TMD surface defects by atomic layer deposited Al2O3 to enhance recovery properties of gas sensor
原子层沉积Al2O3选择性钝化二维TMD表面缺陷以提高气敏元件恢复性能
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钝化
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期刊:Applied Surface Science 作者:Inkyu Sohn; Sungun Wi; Youngjun Kim; Dain Shin; Myoungsub Kim; et al 出版日期:2024-02-01 |
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