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 Photo-deposition of tantalum pentoxide film using 222 nm excimer lamps 用222nm准分子灯光沉积五氧化二钽薄膜
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期刊：Applied Surface Science 作者：Junying Zhang; B. Hopp; Zsolt Geretovszky; Ian W. Boyd 出版日期：2000-12-01 |
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