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Epitaxial c-axis oriented BaTiO3 thin films on SrTiO3-buffered Si(001) by atomic layer deposition
原子层沉积在SrTiO3缓冲Si(001)上外延c轴取向BaTiO3薄膜
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Thong Q. Ngo; Agham Posadas; Martin D. McDaniel; Chengqing Hu; J. Bruley; et al 出版日期:2014-02-24 |
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