Polishing characteristics of different glass films - 科研通

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标题	Polishing characteristics of different glass films 不同玻璃薄膜的抛光特性相关领域化学机械平面化抛光泥浆材料科学硅酸盐玻璃硅酸盐电介质硼复合材料化学工程矿物学光电子学化学工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.145480
DOI	10.1117/12.145480 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Robert Tolles; Hubert Bath; B. Doris; Rahul Jairath; R.D. Leggett; et al 出版日期：1993-05-21
求助人	nico 在 2024-04-23 19:17:56 发布自湖南，悬赏 20 积分
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