标题 |
Structural, Chemical, Optical, and Electrical Evolution of SnOx Films Deposited by Reactive rf Magnetron Sputtering
反应射频磁控溅射沉积SnOx薄膜的结构、化学、光学和电学演变
相关领域
材料科学
溅射
溅射沉积
高功率脉冲磁控溅射
光电子学
腔磁控管
薄膜
纳米技术
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其它 |
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Hao Luo; Lingyan Liang; Hong Tao Cao; Zhi Min Liu; Fei Zhuge 出版日期:2012-10-11 |
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