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 Impact of Process Variation on Nanosheet Gate-All-Around Complementary FET (CFET) 工艺变化对纳米片栅极全方位互补场效应管（CFET）的影响
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期刊：I.E.E.E. transactions on electron devices/IEEE transactions on electron devices 作者：Xiaoqiao Yang; Xianglong Li; Ziyu Liu; Yabin Sun; Yun Liu; et al 出版日期：2022-07-01 |
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