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 Controlling the crystallinity of HfO2 thin film using the surface energy-driven phase stabilization and template effect 利用表面能驱动的相稳定和模板效应控制HfO2薄膜的结晶度
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结晶度
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期刊：Applied Surface Science 作者：Aejin Lee; Byung Seok Kim; Ji Hyeon Hwang; Young Jin Kim; Hansol Oh; et al 出版日期：2022-07-01 |
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