Multi-field simulation and optimization of SiNx:H thin-film deposition by large-size tubular LF-PECVD - 科研通

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标题	Multi-field simulation and optimization of SiNx:H thin-film deposition by large-size tubular LF-PECVD 大尺寸管式LF-PECVD沉积SiNx：H薄膜的多场模拟与优化相关领域等离子体增强化学气相沉积沉积（地质）材料科学多物理薄膜涂层体积流量过程（计算）等离子体光电子学纳米技术计算机科学物理机械热力学量子力学生物操作系统有限元法古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.solener.2021.09.075
DOI	10.1016/j.solener.2021.09.075 doi
其它	期刊：Solar Energy 作者：Jicheng Zhou; Jing Huang; Jia‐Feng Liao; Yang Guo; Zengchao Zhao; et al 出版日期：2021-11-01
求助人	圆圆在 2024-08-20 16:22:36 发布自俄罗斯，悬赏 10 积分
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