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标题
Multi-field simulation and optimization of SiNx:H thin-film deposition by large-size tubular LF-PECVD
大尺寸管式LF-PECVD沉积SiNx：H薄膜的多场模拟与优化
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 沉积（地质） 材料科学 多物理 薄膜 涂层 体积流量 过程（计算） 等离子体 光电子学 纳米技术 计算机科学 物理 机械 热力学 量子力学 生物 操作系统 有限元法 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.solener.2021.09.075
DOI
10.1016/j.solener.2021.09.075 doi
其它 期刊：Solar Energy
作者：Jicheng Zhou; Jing Huang; Jia‐Feng Liao; Yang Guo; Zengchao Zhao; et al
出版日期：2021-11-01
求助人
圆圆 在 2024-08-20 16:22:36 发布自俄罗斯，悬赏 10 积分
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