标题 |
Piezoelectric-on-Silicon Array Resonators With Asymmetric Phononic Crystal Tethering
具有非对称声子晶体束缚的硅基压电阵列谐振器
相关领域
谐振器
薄脆饼
压电
硅
材料科学
绝缘体上的硅
制作
光电子学
Q系数
复合材料
医学
病理
替代医学
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网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of microelectromechanical systems 作者:Udit Rawat; Deleep R. Nair; Amitava DasGupta 出版日期:2017-08-01 |
求助人 | |
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