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标题
Piezoelectric-on-Silicon Array Resonators With Asymmetric Phononic Crystal Tethering
具有非对称声子晶体束缚的硅基压电阵列谐振器
相关领域
谐振器 薄脆饼 压电 材料科学 绝缘体上的硅 制作 光电子学 Q系数 复合材料 医学 病理 替代医学
网址
DOI
10.1109/jmems.2017.2665473 doi
其它 期刊:Journal of microelectromechanical systems
作者:Udit Rawat; Deleep R. Nair; Amitava DasGupta
出版日期:2017-08-01
求助人
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