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 Shield Gate Trench MOSFET With Narrow Gate Architecture and Low-k Dielectric Layer 具有窄栅极结构和低k介质层的屏蔽栅极沟槽MOSFET
相关领域
栅极电介质
MOSFET
光电子学
材料科学
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期刊：IEEE electron device letters 作者：Zhengkang Wang; Ming Qiao; Dong Fang; Ruidi Wang; Qi Zhao; et al 出版日期：2020-05-01 |
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